產品介紹:

產品特征:

最大行程4m x 4m

以線性滑軌或空氣軸承架構之定位平台

良好接地設計防止雜訊幹擾

Z向震動可達奈米等級以下

最大速度可達5m/s

標準重現精度1um或以下50nm

位置回饋係統解析度最低可達

產品應用:

半導體設備 自動化搬送 FPD設備 太陽能製造設備 PCB設備 水刀設備 鑽石切割設備 AOI檢測設備 工具機